Термин «МЭМС» переводится как «микроэлектромеханические системы». К ним относятся и микромеханические датчики. По существу, их получение основано на модификации метода фотолитографического создания плоских и пространственных структур. Фотолитография — это целая группа процессов, среди которых есть простые типа фотокопирования и более сложные, например лазерная запись.