Микроэлектромеханические системы


Термин «МЭМС» переводится как «микроэлектромеханические сис­темы». К ним относятся и микромеханические датчики. По суще­ству, их получение основано на модификации метода фотолитогра­фического создания плоских и пространственных структур. Фотолитография — это целая группа процессов, среди которых есть простые типа фотокопирования и более сложные, например лазер­ная запись.
Подробнее